Mélanges très haute pureté SIAD pour dopage - électronique et semi-conducteurs
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Description
Mélanges très haute pureté pour électronique et semi-conducteurs.
Adapté aux applications de :
- dopage,
- gravure plasma,
- épitaxie,
- CVD,
- PVD,
- mélanges fluorés (SF6/Ar Ecodeidral),
- composants optoélectroniques et photovoltaïques.
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