Microscope DHM Série R - Science des matériaux - Microscope holographique pour topographie 3D et analyse MEMS

Microscope DHM – Science des matériaux DHM Série R
1. Balayage non contact
2. Profilométrie 3D à une vitesse inégalée
3. Analyse MEMS, jusqu'à 25 MHz
4. Mesurer dans des conditions environnementales contrôlées
5. Mesurer la topographie de motifs transparents
Les séries Reflection DHM (DHM®-R1000, DHM®-R2100 et DHM®-R2200) sont des microscopes holographiques configurés en réflexion. Ils sont idéaux pour mesurer des objets totalement ou partiellement réfléchissants. Leur capacité à travailler avec des interfaces à faible réflexion (moins de 1% de réflectivité) en fait des instruments idéaux pour des mesures topographiques optiques précises sur une grande variété d'échantillons.
Séries disponibles :

• Série R-1000 : source laser unique
• Série R-2100 : sources laser doubles
• Série R-2200 : trois sources laser

Applications principales

• Topographie dynamique :
• Tribologie 4D
• Micro-plaque
• Déformation de la membrane
• Smart Polymer
• Électrochimie
• Interface liquide
• Auto-assemblage
• Montre oscillateur
• MEMS :
• Microphone MEMS
• Capteurs inertiels
• Actionneur MEMS
• MEMS Cantilevers
• MEMS optique
• Transducteurs à ultrasons
• SAW - Ondes acoustiques de surface
• Topographie de surface :
• Hauteur de marche standard
• Topographie fluide
• Micro-optique
• Film mince structuré
• Analyse de finition de surface
• Mesure de planéité
• Caractérisation de métasurface
• Mesures automatisées :
• Inspection de défauts
• Contrôle de la qualité de la rugosité
• Examen de documents médico-légaux
• Niveau de la plaquette - mesure de la hauteur

Plus d'info sur les applications :

• Topographie de surface
• Finition de surface
• Inspection des défauts
• Film mince structuré
• Mesure MEMS

Profilométrie 3D à une vitesse inégalée
DHM mesure la carte topographique 3D d’une surface avec une acquisition unique, sans aucun mécanisme de balayage requis. Il fournit une acquisition rapide imbattable, à une cadence de jusqu'à 1000 images par seconde, permettant :

• Étude du comportement dynamique 3D d'échantillons déformables
• Écran rapide et analyse de grandes surfaces
• Inspections de routine avec une productivité élevée
• Capture de topographies 3D sur la chaîne de production,
• Sans arrêter l'échantillon

Analyse MEMS, jusqu'à 25 MHz
L'unité stroboscopique optionnelle synchronise le DHM® avec le signal d'excitation d'un dispositif MEMS.
L'analyse de cet ensemble unique de données fournit :

• Séquence chronologique des topographies 3D
• Résonances de fréquence et réponses
• Amplitude de vibration avec résolution de 17h pour hors-plan et 1 nm pour les déplacements dans le plan
• Caractérisation de mouvements complexes et d'échantillons géométriques, y compris en présence de trous

Mesurer dans des conditions environnementales contrôlées
La configuration optique unique de DHM permet à l'utilisateur de mesurer avec une qualité optique optimale :

• À travers le verre et les liquides d'immersion
• À l'intérieur des chambres de l'environnement et à vide, sous température contrôlée, humidité, composition de pression ou de gaz

Mesurer la topographie de motifs transparents
L'analyse DHM Reflectometry en option et le logiciel permettent de mesurer :

• Topographie de structures transparentes
• Valeurs d'épaisseur et d'indice de réfraction de multicouches structurées avec des épaisseurs allant de 10 nanomètres à des dizaines de microns
• Topographie de matériaux mous et de liquides

La microscopie holographique numérique (DHM) est une technologie brevetée. Elle enregistre, avec une caméra numérique, les hologrammes produits par les interférences entre le faisceau réfléchi par l'échantillon et un faisceau de référence généré à l'intérieur du microscope. Les hologrammes sont traités numériquement pour reconstruire une carte optique 3D du spécimen. L'étalonnage vertical de DHM est intrinsèquement défini par la longueur d'onde du laser. Il fournit des données et des mesures reproductibles et de haute précision avec une résolution interférométrique, c'est-à-dire une résolution verticale subnanométrique, ainsi qu'une résolution latérale limitée par le choix de l'objectif du microscope. Grâce au traitement numérique avancé de l'hologramme enregistré, une mise au point nette peut être effectuée simultanément ou après la mesure, en post-traitement, sans réglage manuel de la hauteur de l'échantillon.