Source d'ions à clusters d'argon - multimode GCIS pour nettoyage et profils de profondeur des couches minces
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Olivier COSTA
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Description
La source multimode à clusters d’ions gaz (GCIS) est conçue pour fonctionner dans les deux modes cluster Arn+ et monoatomique Ar+, ce qui la rend appropriée pour le nettoyage et les profils de profondeur de couches minces organiques, inorganiques ou métalliques.
En outre, elle peut également être utilisée pour générer des ions He+ basse énergie pour une utilisation en spectroscopie de diffusion d'ions (ISS).
Caractéristiques principales :
- Idéal pour profils de profondeurs des matériaux organiques
- Conservation de l’état chimique et des interfaces
- Gamme d’énergie des clusters : 0.2-20 keV
- Taille des clusters ajustable de Ar250+ à Ar2000+
- Contrôle total par le logiciel ESCApe : pression de gaz, vannes, paramètres…
- Utilisable avec l’Axis Supra+ et Nova2
- Monté sur bride DN64 (Diam. Ext. 4.5’’)
- Pompage différentiel par 2 pompes turbomoléculaires
- Performant pour le nettoyage des surfaces et l’amélioration de l’imagerie
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NEYCO
France, Vanves, (92) Ile-de-France
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