Spectrophotomètre PGS Zeiss - Haute résolution - Proche Infra-Rouge - Versions PGS 1.7 et PGS 2.2

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Description

Spectromètre haute résolution

Tout comme les MMS, la fente d'entrée, le réseau plan et le capteur sont alignés et solidaires en permanence autour d'un corps thermiquement stable, robuste et compact. Le nouveau module PGS (Plano Grating Spectrometer) offre les mêmes qualités dans le domaine du proche Infra-Rouge.

Caractéristiques principales :


  • Très grande résolution, adaptée à la mesure des épaisseurs de couches minces dans l'industrie du semi-conducteur.

Deux versions disponibles :



Version Plage de longueurs d'ondes Capteur Résolution
PGS 1.7 960 à 1690 nm InGaAS à 512 pixels 5 nm
PGS 2.2 1100 à 2200 nm InGaAS à 256 pixels 11 nm

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