Spectrophotomètre PGS Zeiss - Haute résolution - Proche Infra-Rouge - Versions PGS 1.7 et PGS 2.2
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Description
Spectromètre haute résolution
Tout comme les MMS, la fente d'entrée, le réseau plan et le capteur sont alignés et solidaires en permanence autour d'un corps thermiquement stable, robuste et compact. Le nouveau module PGS (Plano Grating Spectrometer) offre les mêmes qualités dans le domaine du proche Infra-Rouge.
Caractéristiques principales :
- Très grande résolution, adaptée à la mesure des épaisseurs de couches minces dans l'industrie du semi-conducteur.
Deux versions disponibles :
| Version | Plage de longueurs d'ondes | Capteur | Résolution |
|---|---|---|---|
| PGS 1.7 | 960 Ã 1690 nm | InGaAS Ã 512 pixels | 5 nm |
| PGS 2.2 | 1100 Ã 2200 nm | InGaAS Ã 256 pixels | 11 nm |
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