Grille de calibration pour l'étalonnage de microscopes AFM, MEB et les profilomètres - Nanuler Calibration Standard

• Hauteur de marche

Cette structure de hauteur de marche en os de chien bien marquée a été créée pour offrir une fonctionnalité unique facilitant la localisation. Du SiO2 thermoformé précis et uniforme est utilisé pour des hauteurs de pas inférieures à 1 µm. Les étapes de silicium sont formées pour des caractéristiques de 5 à 25 µm.

• Boite de magnification

Quatre boîtes concentriques (hauteur de 2 µm, 5 µm, 10 µm et 50 µm) peuvent être utilisées pour vérifier le grossissement et la linéarité x-y. Ces structures peuvent être utilisées pour vérifier le grossissement dans une plage allant de quelques centaines à 50 000 fois dans les SEM.

• Réseaux

Il existe 4 configurations de réseau différentes avec des pas de 3 µm, 10 µm, 20 µm et 50 µm. Ces structures sont conçues pour l’étalonnage x-y des modèles AFM, SEM, TEM et Profilers.

• Grilles

Ces grilles peuvent être utilisées pour la mesure de la topographie de surface, de la rugosité et du grossissement avec la plupart des SPM et des profilomètres disponibles sur le marché. D'autres applications incluent les faisceaux de focalisation et la définition / vérification des hauteurs d'étage Z en observant la diffusion du faisceau.

• Structures à usages multiples

Ces réseaux de cercles, barres et carrés de hauteurs différentes (1 µm, 2 µm, 5 µm, 10 µm, 20 µm, 50 µm, 100 µm et 200 µm) peuvent être utilisés pour surveiller la taille du mouvement (XYZ) et fournissent une référence à différentes largeurs de trait.