A Series Micro XRF - Analyseur à fluorescence X pour microélectronique et semi-conducteurs

La série A Micro XRF est conçue pour des mesures très précises des plus petites caractéristiques aux rayons X présentes dans les semi-conducteurs et la microélectronique. Elle supporte des panneaux PCB très grands ainsi que des plaquettes de toute taille, permettant une couverture complète de l’échantillon et des mesures automatisées multi-points.

Grâce à des optiques poly-capillaires, la série A de Bowman concentre le faisceau X à une taille ultra-fine de 7,5 μm FWHM — la plus petite taille au monde pour l’analyse d’épaisseur de couche avec des instruments XRF. Une caméra avec un grossissement de 140X capture des mesures détaillées à cette échelle, complétée par une seconde caméra à faible grossissement pour la visualisation en direct et l’imagerie macro en vue d’ensemble. Ce système à double caméra permet aux opérateurs de voir la pièce entière, de zoomer sur des zones spécifiques et de cibler précisément les caractéristiques à mesurer.

Le système intègre une table programmable X-Y avec un déplacement de 600 mm (23,6 pouces) dans chaque direction, capable de manipuler les plus grands échantillons du secteur. Avec une précision supérieure à ±1 μm par axe, cette table permet la sélection et la mesure de plusieurs points. Le logiciel de reconnaissance de formes de Bowman ainsi que les fonctions d’autofocus automatisent ce processus. De plus, la reconnaissance de formes intégrée peut cartographier la topographie des couches sur des pièces comme les plaquettes de silicium.