Cartographie d'épaisseur de couches-minces automatisable - Modèles Filmetrics F50 pour échantillons jusqu'à 450 mm
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Description
Cartographie d’épaisseur de couches-minces automatisable - F50
1. Cartographie rapide
2. Échantillon jusqu'à 450 mm de diamètre
3. Nombreux modèles de carte
4. Personnalisable
5. Automatisé
La famille de produits Filmetrics F50 permet de cartographier l'épaisseur de film aussi rapidement que deux points par seconde. Une platine R-Thêta motorisée accepte les mandrins standard et personnalisés pour les échantillons jusqu’à 450 mm de diamètre. (Il s'agit du même stade à durée de vie élevée qui effectue des millions de mesures dans nos systèmes de production!)
Modèles de carte disponibles :
- Polaires
- Rectangulaires
- Linéaires
Vous pouvez également créer vos propres modèles sans limitation du nombre de points de mesure. Des dizaines de modèles de cartes prédéfinis sont fournis.
Le système de cartographie d'épaisseur de film F50 se connecte au port USB de votre ordinateur Windows® et peut être configuré en quelques minutes.
Différents instruments F50 :
- Le standard F50 est le plus populaire.
- Des longueurs d'onde plus courtes (par exemple : F50-UV) sont nécessaires pour les films plus minces.
- Des longueurs d'onde plus longues permettent de mesurer des films plus épais, rugueux et opaques.
Séries disponibles :
Applications :
Mapping d'épaisseur personnalisable jusqu'à 300 mm
Ce qui est inclus :
Avantages supplémentaires :
1. Cartographie rapide
2. Échantillon jusqu'à 450 mm de diamètre
3. Nombreux modèles de carte
4. Personnalisable
5. Automatisé
La famille de produits Filmetrics F50 permet de cartographier l'épaisseur de film aussi rapidement que deux points par seconde. Une platine R-Thêta motorisée accepte les mandrins standard et personnalisés pour les échantillons jusqu’à 450 mm de diamètre. (Il s'agit du même stade à durée de vie élevée qui effectue des millions de mesures dans nos systèmes de production!)
Modèles de carte disponibles :
- Polaires
- Rectangulaires
- Linéaires
Vous pouvez également créer vos propres modèles sans limitation du nombre de points de mesure. Des dizaines de modèles de cartes prédéfinis sont fournis.
Le système de cartographie d'épaisseur de film F50 se connecte au port USB de votre ordinateur Windows® et peut être configuré en quelques minutes.
Différents instruments F50 :
- Le standard F50 est le plus populaire.
- Des longueurs d'onde plus courtes (par exemple : F50-UV) sont nécessaires pour les films plus minces.
- Des longueurs d'onde plus longues permettent de mesurer des films plus épais, rugueux et opaques.
Séries disponibles :
- Série F54 : Taille de spot plus fin - Échantillon jusqu'à 450 mm de diamètre - R&D. Plus d'infos >
- Série F54-XY-200mm : Platine de déplacement XY rapide et précise - Capot de protection acoustique - Production. Plus d'infos >
- Série F60 : Automatisation élevée - Détection de notch - Interface SECS/GEM - Dédiée à la production.
Applications :
- Fabrication de semi-conducteurs :
- Photoresist
- Oxydes / nitrures / SOI
- Wafer
- Mems :
- Photoresist
- Membranes de silicium
- Dispositifs biomédicaux :
- Revêtement de dureté
- Revêtement antireflet
- Affichage à cristaux liquides :
- Lacunes cellulaires
- Polyamide
- ITO
Mapping d'épaisseur personnalisable jusqu'à 300 mm
Ce qui est inclus :
- Spectromètre intégré / source de lumière
- Câble de fibre optique
- Normes de réflectance des tranches de 4", 6" et 200 mm
- TS-SiO2-4-7200 Norme d'épaisseur
- Norme de réflectance BK7
- Filtre aplatissant (pour les substrats hautement réfléchissants)
- Pompe à vide
- Lampe de rechange TH-1
Avantages supplémentaires :
- Bibliothèque avec plus de 130 matériaux inclus avec chaque système, avec accès à 100 autres
- Ingénieurs d'applications disponibles pour une assistance immédiate 24 heures sur 24 (lundi à vendredi)
- Support en ligne "Hands On"
- Programme de mise à niveau du matériel
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