Hpr-30 : mesure les gaz de procédés sous vide, les contaminations et la détectio
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Mr. Cedric Trocherie
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Description
Analyseur de gaz résiduels pour analyses de procédés sous vide
- Gamme de masse : 200, 300 ou 510 amu
- Mesure la composition des gaz de procédés sous vide : oui
- Mesure de contaminations et détection de fuites : oui
- Concentration minimale détectable : 5 ppb
- Pression d'échantillonnage (standard) : 10-3 à 5 mbar
- Pression d'échantillonnage (option) : <10-4 mbar
- Vitesse de mesure : jusqu'à 500 mesures par seconde
Domaine d'utilisation:
Spectromètre de masse pour l'analyse des couches minces, des plasmas et l'élaboration de surfaces
- Gamme de masse : 200, 300 ou 510 amu
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