Spectromètre de masse HPR-30 - Analyseur de gaz résiduels pour procédés sous vide, contaminations et détection de fuites
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Description
Analyseur de gaz résiduels pour analyses de procédés sous vide
- Gamme de masse : 200, 300 ou 510 amu
- Mesure la composition des gaz de procédés sous vide : Oui
- Mesure de contaminations et détection de fuites : Oui
- Concentration minimale détectable : 5 ppb
- Pression d'échantillonnage (standard) : 10⁻³ à 5 mbar
- Pression d'échantillonnage (option) : <10⁻⁴ mbar
- Vitesse de mesure : Jusqu'à 500 mesures par seconde
Domaine d'utilisation :
Spectromètre de masse pour l'analyse des couches minces, des plasmas et l'élaboration de surfaces.
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Dans notre gamme, vous trouverez des machines de test pour:
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•Préparation des échantillons et contrôle des processus
•Analyses élémentaires et structurales
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Demande de devis
Il s'agit d'un équipement destiné à réaliser des essais de thermodésorption (essentiellement H2) et à analyser les gaz relâchés au moment de la rupture d'échantillons . Le dispositif doit être aisément transportable et facile à connecter pour passer d'un type d'essai à un autre. En terme de sensibilité et de temps de réponse on souhaite disposer d'un système détectant des pressions partielles de 10-10 mbar . En revanche la gamme de masse 0-50 est suffisante.
Eric A (Argenteuil - Val-d'Oise - 95)
