RGA Series - Spectromètre de masse pour mesure en temps réel des concentrations en gaz ou vapeur, gamme jusqu'à 510 amu

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Description

Système pour l'analyse du contenu d'un récipient ou dérivés d'un process

  • Gamme de masse : 50, 100, 200, 300 ou 510 amu
  • Concentration minimale détectable (HALO) : 2 x 10-13 mbar
  • Concentration minimale détectable (3F) : 2 x 10-14 mbar
  • Concentration minimale détectable (3F-PIC) : 2 x 10-15 mbar
  • Source d'ions : gamme de sources par impact d'électrons disponible
  • Contrôle complet de la source d'ions : oui
  • Emission électronique : ajustable par logiciel entre 1 µA et 2 mA
  • Energie électronique : ajustable par logiciel entre 0 V et 150 eV
  • Energie d'ions : ajustable par logiciel entre 0 V et 10 eV
  • Détecteur : détecteur Faraday et multiplicateur d'électrons
  • Bride (HALO) : bride DN-35-CF (2.75"/70 mm)
  • Bride (3F – triple filtre) : bride DN-63-CF (4.5"/114 mm)

Domaine d'utilisation :
Analyse des gaz et vapeurs dans des procédés et chambres sous vide.

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