Analyseur XRF de paillasse haute précision pour micro-analyse des revêtements - Série M

La série M offre des performances exceptionnelles pour la mesure de l'épaisseur des revêtements sur les plus petites fonctionnalités. Son système optique poly-capillaire avancé — plus perfectionné que celui de la série O — concentre le faisceau de rayons X jusqu’à une finesse extrême de 7,5 μm FWHM. Pour prendre en charge une telle précision, le système intègre une caméra à fort grossissement (140x) avec un zoom numérique amélioré. Comme le champ de vision se réduit à fort grossissement, une seconde caméra capture une image macro de la pièce à mesurer. Ce système à double caméra permet à l’utilisateur de visualiser l’ensemble de la pièce, de cliquer sur une zone de l’image macro, puis de zoomer automatiquement avec la caméra à fort grossissement pour cibler précisément la caractéristique à analyser.

Une platine XY programmable haute précision permet de sélectionner et de mesurer plusieurs points, manuellement ou automatiquement via le logiciel de reconnaissance de formes intégré. Pour une analyse plus étendue, un système de cartographie 2D permet de visualiser la topographie du revêtement sur des surfaces telles que les tranches de silicium.

La configuration standard comprend une optique de 15 μm et un détecteur LSDD haute résolution, capable de traiter des taux de comptage élevés. Une platine d’échantillons XY programmable est également incluse. En raison de la courte distance focale du système optique, les échantillons mesurés avec la série M doivent être plats.

Spécifications

• Excitation par rayons X : Optique capillaire cible W de 50W @15µm FWHM à 17 KeV
• Option : Cr, Mo ou Rh
• Détecteur : Détecteur à dérive de silicium avec grande fenêtre, résolution de 190eV ou meilleure
• Nombre de couches
• d'analyse et d’éléments : 5 couches (4 couches + base) et 10 éléments par couche avec analyse de composition jusqu’à 30 éléments simultanément
• Filtres : 4 filtres primaires
• Profondeur focale de sortie : Fixée à 0,15″ (3,81mm)
• Traitement numérique des impulsions : Analyseur multi-canaux numérique 4096 CH avec temps de mise en forme flexible. Traitement automatique du signal incluant la correction du temps mort et la correction du pic d’échappement
• Ordinateur : Processeur Intel CORE i5 9e gén., disque dur SSD, 16 Go de RAM, Microsoft Windows 11 Professionnel 64 bits ou équivalent
• Optique de caméra : CMOS 1/4″ (6mm) – Résolution VGA 1280×720, 250X avec double caméra ou 45X avec caméra simple sur écran de 381mm (15″)
• Grossissement vidéo : 140X micro, zoom numérique 7X, 9X macro & vue table
• Alimentation : 150W, 100–240 volts, plage de fréquence de 47Hz à 63Hz
• Environnement de fonctionnement : De 20°C (68°F) à 25°C (77°F) et jusqu’à 98% d’humidité relative, sans condensation
• Poids : 70 kg
• Table XY programmable : Taille de la table : 432 mm (17″) x 406 mm (16″) | Déplacement : 165 mm (6,5″) x 165 mm (6,5″) haute précision
• Table XY programmable max étendue : Taille de la table : 813 mm (32″) x 781 mm (30,75″) | Déplacement : 406 mm (16″) x 406 mm (16″)
• Disponible avec option de table max étendue
• Dimensions internes : Hauteur : 137 mm (5,4″), Largeur : 305 mm (12″), Profondeur : 330 mm (13″)
• Dimensions externes : Hauteur : 508 mm (20″), Largeur : 457 mm (18″), Profondeur : 610 mm (24″)