Profilomètre optique nanométrique - D-surface-View pour inspection et contrôle qualité

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Description

Profilomètre optique D-surface-View
Caractéristiques principales :
  • Inspection locale et globale : du millimètre (mm) au nanomètre (nm)
  • Mesure en une seule acquisition
  • Échelle nanométrique

D-Surface View est conçu pour :
  • Aider les fabricants de plaquettes jusqu'à 300 mm de diamètre à réduire leurs coûts.
  • Améliorer les rendements des dispositifs fabriqués grâce à une technologie de traitement avancée.

Il permet le contrôle qualité des surfaces des plaquettes en qualifiant la rugosité, la forme, la planéité et la topographie, en une seule mesure, sur des plaquettes nues ou traitées.
Applications en profilométrie optique :
  • Solaire
  • Fabrication de LED
  • Automobile
  • Équipement médical
  • Universités, laboratoires de recherche et instituts

Profilométrie optique - Déflectométrie
Le D-Surface View utilise une technologie optique sans contact pour inspecter de grandes surfaces jusqu'à 300 mm de diamètre. Il garantit une production sans défaut et une livraison de produits de haute qualité.
Il peut être utilisé pour :
  • Contrôle qualité de surface (unité individuelle ou lots).
  • Inspection en ligne.
Il qualifie la rugosité, la forme, la planéité et la topographie des surfaces jusqu'au niveau nanométrique en une seule mesure. Ses performances à très haute résolution offrent des solutions rapides, fiables et sensibles, idéales pour les grandes surfaces dans diverses industries.
Applications de mesure :
  • Texture : Rugosité et ondulation : mesurez la texture 2D et 3D, quantifiez la rugosité et l'ondulation grâce à des filtres logiciels.
  • Forme : Arc et forme : mesurez la forme 2D ou l'arc d'une surface, quantifiez la hauteur et le rayon des structures courbes (ex. lentilles).
  • Contrainte des couches minces : Mesurez facilement les contraintes 2D et 3D induites lors de la fabrication de dispositifs multi-couches.
  • Analyse des défauts : Mesurez la topographie des défauts, comme la profondeur d'une rayure.

Caractéristiques techniques :
(En image)

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