Profilomètre optique automatisé pour grand échantillon - Zeta-388

AVANTAGES
- Pour l'industrie
- Mesure Automatisée
- Topographie 3D haute résolution en couleur même sur échantillon transparent
- Interférométriques : lumière blanche VSI - Nomarski - PSI
- Épaisseur de couches minces transparentes  

La profilométrie optique automatisée pour grand échantillon
Le profileur optique Zeta-388 est un système de mesure de topographie de surface 3D sans contact. Le Zeta-388 s'appuie sur la capacité du Zeta-300 avec l'ajout d'un gestionnaire de cassette à cassette pour des mesures entièrement automatisées. Le système est alimenté par la technologie brevetée ZDot ™ et par une optique multi-mode, permettant de mesurer une variété d'échantillons: transparents et opaques, à réflectance faible à élevée, de texture lisse à rugueuse et de hauteurs de pas allant du nanomètre au millimètre.
Le Zeta-388 intègre six technologies de métrologie optique différentes dans un système configurable et facile à utiliser. Le mode de mesure ZDot ™ collecte simultanément une numérisation 3D haute résolution et une image à mise au point infinie True Color. D'autres techniques de mesure 3D comprennent l'interférométrie en lumière blanche, la microscopie à contraste d'interférence de Nomarski et l'interférométrie en cisaillement. L'épaisseur du film peut être mesurée avec ZDot ou un réflectomètre à large bande intégré. Le Zeta-388 est également un microscope haut de gamme pouvant être utilisé pour l'examen d'échantillons ou l'inspection automatisée des défauts. Le Zeta-388 prend en charge la R & D et les environnements de produits en fournissant des mesures complètes de hauteur, de rugosité et d'épaisseur de film, une capacité d'inspection des défauts et une manipulation cassette à cassette.

• Profileur optique facile à utiliser avec les optiques ZDot et multi-mode pour une vaste gamme d'applications
• Examen d'échantillons de microscope ou inspection de défauts de haute qualité
• ZDot: collecte simultanément une numérisation 3D haute résolution et une image à mise au point infinie True Color
• ZXI: Interférométrie en lumière blanche pour les mesures de zones étendues avec une résolution z élevée
• ZIC: Contraste interférentiel pour les données 3D quantitatives de surfaces à rugosité inférieure au nanomètre
• ZSI: interférométrie en cisaillement pour les images à haute résolution z
• ZFT: l'épaisseur et la réflectance du film sont mesurées à l'aide d'un réflectomètre à large bande intégré
• AOI: Contrôle optique automatique pour quantifier les défauts sur l'échantillon
• Capacité de production: mesures entièrement automatisées avec séquençage et reconnaissance de formes
• Manipulateur de plaquettes: chargez automatiquement des échantillons opaques (silicium, par exemple) et transparents (saphir, par exemple), de 50 à 200 mm de diamètre