Profilomètre Optique pour l'industrie, la recherche et le développement - Zeta-20

La profilométrie dédiée à l'industrie et la R&D
Le profileur optique de table Zeta-20 est un système de mesure de topographie de surface 3D sans contact. Le système est alimenté par la technologie brevetée ZDot ™ et par une optique multimode qui permet de mesurer une variété d’échantillons: transparents et opaques, à réflectance faible à élevée, de texture lisse à rugueuse et de hauteurs de pas allant de quelques nanomètres à millimètres.

Le Zeta-20 intègre six technologies de métrologie optique différentes dans un système configurable et facile à utiliser. Le mode de mesure ZDot ™ collecte simultanément une numérisation 3D haute résolution et une image à mise au point infinie True Color. D'autres techniques de mesure 3D comprennent l'interférométrie en lumière blanche, la microscopie à contraste d'interférence de Nomarski et l'interférométrie en cisaillement. L'épaisseur du film peut être mesurée avec ZDot ou un réflectomètre à large bande intégré. Le Zeta-20 est également un microscope haut de gamme pouvant être utilisé pour l'examen d'échantillons ou l'inspection automatisée des défauts. Le Zeta-20 prend en charge les environnements de recherche et développement et de production en fournissant des mesures complètes de la hauteur, de la rugosité et de l'épaisseur du film, ainsi que des fonctions d'inspection des défauts.

• Profileur optique facile à utiliser avec les optiques ZDot et multi-mode pour une vaste gamme d'applications
• Microscope de haute qualité pour l'examen des échantillons ou l'inspection des défauts
• ZDot: collecte simultanément une numérisation 3D haute résolution et une image à mise au point infinie True Color
• ZXI: Interférométrie en lumière blanche pour les mesures de zones étendues avec une résolution z élevée
• ZIC: Contraste interférentiel pour les données 3D quantitatives de surfaces à rugosité inférieure au nanomètre
• ZSI: interférométrie en cisaillement pour les images à haute résolution z
• ZFT: l'épaisseur et la réflectance du film sont mesurées à l'aide d'un réflectomètre à large bande intégré
• AOI: Contrôle optique automatique pour quantifier les défauts sur l'échantillon
• Capacité de production: mesures entièrement automatisées avec séquençage et reconnaissance de formes