Profilomètre optique MicroXAM 800 - Mesure nanométrique et millimétrique avec interférométrie avancée

Profilomètre optique pour l’industrie - MicroXAM 800
1. Pour l'industrie
2. Mesure automatisée sur plusieurs sites
3. Lumière blanche VSI & PSI
4. Interférométriques : lumière blanche VSI - Nomarski - PSI
5. Simple et flexible
Le MicroXAM-800 est un profileur optique basé sur un interféromètre en lumière blanche qui mesure les caractéristiques de niveau nanomètre avec interférométrie à balayage de phase (PSI), et les caractéristiques allant du micron au millimètre avec interférométrie à balayage vertical (VSI). Avec une configuration de recettes simple et flexible pour des analyses uniques ou des mesures automatisées sur plusieurs sites, le MicroXAM-800 prend en charge les environnements de recherche et développement et de production.
Applications en profilométrie optique

• Hauteur de marche : hauteur de marche 3D de nanomètres à millimètres
• Texture : rugosité et ondulation 3D
• Forme : arc et forme 3D
• Rolloff Edge : mesures de profil de bord 3D
• Examen des défauts : topographie de surface 3D
• Les industries
• Universités, laboratoires de recherche et instituts
• Semi-conducteur et semi-conducteur composé
• LED : diodes électroluminescentes
• Dispositifs d'alimentation
• MEMS : systèmes micro-électro-mécaniques
• Stockage de données
• Équipement médical
• Surfaces de précision
• Automobile

AVANTAGES
- Pour l'industrie
- Mesure automatisée sur plusieurs sites
- Lumière blanche VSI & PSI
- Interférométriques : lumière blanche VSI - Nomarski - PSI
- Simple et flexible
La profilométrie optique pour l'industrie
Le profilomètre optique MicroXAM-800 est un système de mesure de topographie de surface 3D sans contact. L’interféromètre à lumière blanche de MicroXAM génère des mesures haute résolution de la surface avec une résolution au niveau de l’angström. Le système prend en charge les interféromètres à balayage de phase et vertical, qui sont tous deux des techniques traditionnelles d'interférométrie à balayage de cohérence (CSI). MicroXAM étend ces techniques avec SMART Acquire pour simplifier la configuration des recettes pour les utilisateurs novices, et en interférométrie à assemblage z pour permettre la mesure de grandes hauteurs de pas à grande vitesse.
L'avantage de la technique de mesure MicroXAM réside dans le fait que la résolution verticale de la mesure est indépendante de l'ouverture numérique de l'objectif, ce qui permet des mesures haute résolution avec un grand champ de vision. La surface mesurée peut être encore augmentée en assemblant plusieurs champs de vision en une seule mesure. Le MicroXAM comporte également une interface utilisateur simple et innovante pour prendre en charge un large éventail d'environnements de travail, de la recherche et développement à la production.

• Interférométrie à balayage de phase et vertical pour les entités allant du nanomètre au millimètre
• Acquérir le mode d'acquisition simplifié SMART avec la meilleure configuration de recette connue pour la saisie d'une plage de mesure
• Mode d'acquisition interférométrie par points Z pour le balayage individuel et la compilation de surfaces multiples séparées par de grandes distances z
• Couture XY pour la combinaison de zones d'échantillonnage contiguës plus grandes qu'un seul champ de vision en un seul balayage
• Création simplifiée de flux de travaux de mesure et d'analyse sophistiqués à l'aide de scripts, pour une flexibilité dans les emplacements de mesure, le nivellement, le filtrage et les calculs de paramètres
• Portage d'algorithmes à partir d'autres profileurs optiques et de stylets afin de tirer parti des meilleures techniques connues