Nettoyeur plasma Tergeo-Pro - Pour microscopes TEM et SEM avec grande chambre et puissance ajustable

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Description

Nettoyeur plasma Tergeo-Pro - Nettoyeur plasma pour microscopes TEM et SEM
Le Tergeo-Pro possède la chambre la plus grande de toute la gamme Tergeo :
  • Diamètre de la chambre : 230 mm
  • Profondeur : 430 mm
  • Capacité : Wafer de 8″ ou deux bateaux en quartz 25/50 slot 6″ ou 4″

Caractéristiques principales :
  • Puissance RF disponible : 150, 300 ou 500 watts
  • Ajustement de la puissance RF par intervalles de 1 watt
  • Fréquence de la puissance RF : 13,56 MHz pour une génération de plasma très efficace

Les systèmes plasma Tergeo offrent des fonctionnalités avancées :
  • Ajustement de la puissance RF en watts
  • Création de plasma continu ou pulsé
  • Rapport d'impulsion ajustable de 100 % à moins de 1 %

La construction de la paroi de la chambre en quartz permet :
  • Une conception d'électrodes RF à couplage capacitif externe
  • Un plasma plus uniforme dans toute la chambre

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Arthur MARQUES DE OLIVEIRA
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