Nettoyeur plasma Tergeo-Pro - Pour microscopes TEM et SEM avec grande chambre et puissance ajustable
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Description
Nettoyeur plasma Tergeo-Pro - Nettoyeur plasma pour microscopes TEM et SEM
Le Tergeo-Pro possède la chambre la plus grande de toute la gamme Tergeo :
Caractéristiques principales :
Les systèmes plasma Tergeo offrent des fonctionnalités avancées :
La construction de la paroi de la chambre en quartz permet :
Le Tergeo-Pro possède la chambre la plus grande de toute la gamme Tergeo :
- Diamètre de la chambre : 230 mm
- Profondeur : 430 mm
- Capacité : Wafer de 8″ ou deux bateaux en quartz 25/50 slot 6″ ou 4″
Caractéristiques principales :
- Puissance RF disponible : 150, 300 ou 500 watts
- Ajustement de la puissance RF par intervalles de 1 watt
- Fréquence de la puissance RF : 13,56 MHz pour une génération de plasma très efficace
Les systèmes plasma Tergeo offrent des fonctionnalités avancées :
- Ajustement de la puissance RF en watts
- Création de plasma continu ou pulsé
- Rapport d'impulsion ajustable de 100 % Ã moins de 1 %
La construction de la paroi de la chambre en quartz permet :
- Une conception d'électrodes RF à couplage capacitif externe
- Un plasma plus uniforme dans toute la chambre
Autres produits du vendeur pour : Équipements de traitement au plasma


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SCIENTEC
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