Nettoyeurs plasma de table à faible coût - Série Tergeo

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Mr. Didier Pellerin

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Description

Nettoyeurs plasma Série Tergeo - Nettoyeurs plasma de table série Tergeo

1. Conception intelligente et intuitive
2. Technologie de mesure quantitative du plasma
3. Modes de traitement par immersion et plasma in-situ dans un seul système
4. Fonctionnement pulsé
Pourquoi choisir un nettoyant plasma de la série Tergeo
Meilleure uniformité du plasma grâce à la conception d'électrodes externes
Technologie de capteur plasma unique pour la mesure quantitative de la force du plasma
Technologie de contrôle de processus avancée
Mode d'immersion directe et mode de traitement plasma in-situ dans un seul système
Entrée de gaz régulée par régulateur de débit massique (MFC)
Capteur de pression numérique avancé pour une surveillance précise de la pression
Fonctionnement entièrement automatique avec support de 20 méthodes
Interface utilisateur intuitive à écran tactile
L'électrode RF externe et la chambre à quartz peuvent éliminer le problème de contamination métallique sur les systèmes plasma avec électrodes métalliques internes
Alimentation haute fréquence 13,56 MHz RF avec adaptation automatique de l'impédance pour réduire les dommages de pulvérisation d'ions énergétiques dans le système RF KHz

Nettoyeur plasma Tergeo - Nettoyeur plasma à faible coût

Applications typiques:

Liaison par fil, sous-remplissage de la puce à retournement, encapsulation et décapsulation de l'appareil
Nettoyage d'échantillons SEM / TEM pour l'élimination de la contamination carbonée et la réduction des oxydes
Traiter la surface avant le revêtement biomédical et améliorer l'hydrophilie des implants médicaux
Nettoyage des optiques, du verre et du substrat avant le collage époxy
Nettoyage des plaquettes de silicium et de calcination de photorésist
PDMS, microfluidique, lames de verre...
Améliorer la liaison pour métal sur métal ou composite
Amélioration du collage des plastiques, polymères et matériaux composites

Fonctionnalités:

Modes de nettoyage: nettoyage plasma par immersion pour gravure à grande vitesse et modification de surface; nettoyage au plasma à distance pour une élimination douce de la contamination de surface, comme le nettoyage des échantillons SEM / TEM fonctionnement pulsé pour générer du plasma avec une puissance RF moyenne inférieure à 0,5 watt pour des échantillons extrêmement délicats.
Méthodes d'opération: exécution automatique de recette; exécution automatique de la séquence de tâches; opération manuelle.
Capteur plasma: un double capteur de force plasma (brevet en instance) surveille la source plasma in situ et la source plasma distante. Les intensités du plasma sont affichées sur l'écran tactile LCD en temps réel.
Capacités de contrôle de processus avancées: capteur de pression, capteur de température, débitmètres de gaz dans le MFC, doubles capteurs de force de plasma, adaptation automatique de l'impédance
Matériaux de la chambre: La bride en aluminium et le tube en quartz de haute pureté à paroi épaisse offrent une résistance chimique améliorée et une réduction des impuretés alcalines (Ca, K, Na) trouvées dans le verre pyrex.
Taille de la chambre à quartz: diamètre intérieur: 110 mm; diamètre extérieur: 120 mm; profondeur 280 mm
Porte-échantillon: plaque de quartz haute pureté de 2 mm d'épaisseur
Antenne RF: Les électrodes RF externes et la conception de l'antenne réduisent les problèmes de pulvérisation de métal rencontrés dans les nettoyeurs à plasma avec électrodes métalliques internes.
Puissance RF: alimentation RF haute fréquence 13,56 MHz avec adaptation automatique de l'impédance pour la source de plasma in situ. La puissance RF a deux options: 0-75watt et 0-150watt. La puissance RF de 13,56 MHz génère un plasma avec une densité beaucoup plus élevée que l'alimentation KHz.
Entrée de gaz: jusqu'à trois entrées de gaz contrôlées par débit massique (0 ~ 100sccm). Un port supplémentaire pour la ventilation et la purge. Connecteurs de raccord à compression Swagelok ¼ pouce.
Interface utilisateur: écran tactile de 7 pouces, toucher avec les doigts, aucun stylet requis.
Mode d'emploi: total de 20 méthodes personnalisables. Jusqu'à trois étapes de nettoyage dans la séquence de travail.

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