Outil de mesure de résistance et conductivité Filmetrics - Série R50

Cartographie de résistivité/conductivité automatisée des films
La série Filmetrics R50 fournit des mesures par sonde à quatre points de contact (4PP) et par courants de Foucault (EC) sans contact. Le R50 cartographie la résistivité / conductivité du film conducteur aussi rapidement que 1 point / s. La platine X-Y motorisée utilise un mandrin de plaquette standard ou un porte-échantillon personnalisé pour des tailles d'échantillon jusqu'à 300 mm et plusà une zone de mesure de 200 mm.

Caractéristiques standards:

• Platine X-Y automatisée avec:

- de 100 mm x 100 mm
- de 200 mm x 200 mm (-200 modèles)

• Course en Z de 100 mm
• Platine basculante avec course de +/- 5 °
• Nombre illimité d'emplacements de mesure dans un exemple de carte

Logiciel de la série R50 : Automatisation des mesures

• LE GÉNÉRATEUR DE MOTIFS DE CARTE

Le générateur de modèles de carte intégré vous permet de générer facilement les modèles de points nécessaires pour mesurer la zone pertinente de vos échantillons, économisant ainsi du temps lors de l'acquisition de données.

Voici quelques-uns des paramètres que vous pouvez ajuster pour personnaliser les propriétés de votre carte:

-Cartes rondes ou carrées
- Motifs radiaux ou rectangulaires
- Exclusion de centre ou de bord
- Densité du spot

• VISUALISATION DES RÉSULTATS DE MESURE EN 2D ET 3D

Que vous mesuriez la résistivité ou la conductivité, RsMapper vous permet d'afficher les cartes de mesure résultantes en 2D ou en 3D. Basculez facilement entre les cartes pour les paramètres de mesure individuels et faites pivoter librement les profils 3D pour obtenir une vue optimale des résultats.

UNIFORMITÉ DU FILM TIWN
Le logiciel RsMapper génère des cartes faciles à visualiser de la résistivité variable du film. La carte de résistance de feuille mesurée d'un film TiWN illustrée ci-dessous illustre la variation d'épaisseur de film à travers la tranche en raison du processus de dépôt. La carte révèle la variation non radiale du processus.

MESURES DE SIGNAL À BRUIT ÉLEVÉ D'UN FILM MÉTALLIQUE SUR SI
Le système R50-4PP offre à l'utilisateur la possibilité de consulter la carte de mesure sous forme de graphique de points reliant la résistivité au moment où chaque mesure a été effectuée. Les points tracés illustrent la qualité du signal sur bruit du système avec une résistivité variable. L'onglet historique est un outil idéalpour les cas d'utilisation de production et illustre les anomalies ponctuelles d'un film. Ceux-ci peuvent être retracés àemplacements spécifiques des plaquettes et enquêté plus avant pour diagnostiquer les problèmes de processus.

Modèles (disponibles au 3e trimestre 2020)

• R50-4PP

Utilise une sonde à quatre points pour mesurer la résistance de la feuille; Platine x-y motorisée à course de 100 mm; cartographie des échantillons jusqu'à 100 mm de diamètre; accepte des échantillons jusqu'à 200 mm de diamètre

• R50-EC

Utilise une sonde à courant de Foucault sans contact pour mesurer la résistance de la feuille; Platine x-y motorisée à course de 100 mm cartographie des échantillons jusqu'à 100 mm de diamètre; accepte des échantillons jusqu'à 200 mm de diamètre

• R50-200-4PP

Utilise une sonde à quatre points pour mesurer la résistance de la feuille; Platine x-y motorisée à débattement de 200 mm; cartographie des échantillons jusqu'à 200 mm de diamètre

• R50-200-EC

Utilise une sonde à courants de Foucault sans contact pour mesurer la résistance de la feuille; Platine x-y motorisée à débattement de 200 mm; cartographie des échantillons jusqu'à 200 mm de diamètre