Le
capteur de pression piézorésistif mesure la pression grâce à un
pont de Wheatstone impliquant du silicium. Cet élément de mesure est soumis à une extension minimale, sous l’effet de la tension. Ce mode opératoire va permettre la modification de la résistance électrique, d’où l
’effet piézorésistif. L’appareil transfère la pression à analyser vers une
puce en silicium, à partir d’une
huile de silicone incompressible et d’une membrane. Des
fils de liaison ainsi qu’une traversée en
verre isolant assurent l’alimentation en énergie de la puce.
La mesure de la sortie du signal de pression se fait d’abord en mV. Le signal de pression est compensé en température pour ensuite être amplifié en un signal de sortie mA ou V.
Les capteurs piézorésistifs de pression sont classés selon la nature de la pression traitée, pouvant être absolue, relative, différentielle ou composée.
- Le capteur piézorésistif de pression absolue effectue la mesure par rapport au vide.
- Le capteur piézorésistif de pression relative réalise la mesure par rapport à la pression atmosphérique.
- Le capteur piézorésistif de pression différentielle évalue la différence entre deux pressions.
- Le capteur piézorésistif de pression composée se base sur des valeurs négatives et positives pour déterminer la pression manométrique ou différentielle.
Un
capteur de pression piézorésistif s’acquiert à un montant situé entre
10 et 500 €. Plusieurs paramètres conditionnent le prix d’un tel équipement, dont :
- Le modèle.
- Le matériau de fabrication, qui peut être en titane ou en acier inoxydable.
- La température du process moyenne, généralement comprise entre 0 et 50°C.
- Les diverses caractéristiques,
- La marque, telle que Althen Sensors, Adcon Telemetry et Festo.
